载片 相关话题

金融界2025年3月19日消息，国家知识产权局信息显示股票配资的公司有哪些，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺腔室、载片板机械手和载片板暂存装置”的专利，公开号CN119626933A，申请日期为2024年11月。 专利摘要显示，本发明公开一种工艺腔室、载片板机械手和载片板暂存装置，所述工艺腔室包括腔室本体、升降机构和设于腔室本体内的加热器，加热器包括间隔分布的多层加热板，加热板用于加热其承载的携带有硅片的载片板；加热板设有避让结构；升降机构包括设于腔室本体内的升降架，升降架包括